晴朗净化车间工程-滨州工厂强电-工厂强电安装

洁净室中的温湿度控制：

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，滨州工厂强电，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产蕞佳温度范围为35—45%。

在洁净室内高xioa空气过滤器(或超高xiao空气过滤器)布置在顶棚或侧面，从送风口到回风口，气流流经途中的断面几乎没有什么变化，加上送风静压箱和高xiao过滤器的均压作用，使得全室断面上的流速比较均匀，而至少在工作区内流线单向平行，没有涡流。干净的气流不是一股或几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不是靠参混稀释作用，而是靠推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外，从而达到净化室内空气的目的  空气经架空地板回至循环风机，工厂强电设计，从而形成上送下回的垂直单向流流型。

吹淋方式要达到理想的除尘效果会受到很多因素的制约和影响。

1、提高吹淋风速、增加喷口数量，不锈钢风淋室内使用的风机通常多为前倾式离心风机，其特点是小风量高静压。提高送风量，无疑就是对风机的工况提出了更高的要求，由此还带来不锈钢风淋室的噪声、功耗的提高，风机体积的增大，使用寿命的下降等。

2、增大不锈钢风淋室通道距离、设置盐时导向栏让人员在吹淋的同时，继续走动、转身，加大身体的摆动，工厂强电施工，能够使吹淋气流更多地接触身体的每个部位从而更好的去除尘埃。但增大通道长度距离，一方面占空间大，对现场要求高;另一方面造价也随之提高。